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          山東力冠微電子裝備

          產品展示


          石墨烯薄膜CVD設備

          ◆ 本系統是一套完備的石墨烯制備系統,包括硬件和軟件部分 ◆ 工作在常壓氣氛或真空條件,通過控制生長工藝,既可以生長出六邊形的石墨烯單晶,也可以生長出花瓣狀的石墨烯的單晶

          石墨烯卷對卷

          ? 石墨烯薄膜產業化設備 ? 寬幅卷對卷連續生長 ? APC系統:真空蝶閥自動控制 ? 碳源等工藝氣體MFC控制 ? 薄膜制備過程全自動控制 ? 三腔室結構

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